Massedurchflussregler Messbereichsendwerte: - 20 bis 100 ln/min (N2-Äquivalent) - bis 200 ln/min (nur H2) - Eingestellter Messbereich: siehe unter "Prozessdaten" - Messspanne 1:50 (mit Standardventil) - Messgenauigkeit 20...100 % Fluss: +/- 1 % v.Mw, < 20%: +/- 0,2 % v.Ew. - Reproduzierbarkeit: +/- 0,2 % v.Mw. - Druckfest bis 100 bar - mit Brooks-Kalibrierzertifikat

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